场发射扫描电子显微镜
1．设备名称：场发射扫描电子显微镜
2．型号：Merlin Compact
3．配件：X射线能谱仪（Xflash/30）；氩离子抛光系统(685.C)
4. 制造厂家：德国蔡司
5. 引进时间：2016年4月
6. 功能及用途
场发射扫描电子显微镜可对样品实现超高分辨率的微观形貌观察，配备了安装在镜筒内正光轴上的环形二次电子（In-lens）和能量选择背散射式In-lens Duo探测器，带有能量过滤栅网，可分别获得二次电子或背散射电子图像，在低电压下，其二次电子和背散射电子均具有卓越的分辨能力；样品室二次电子探测器；角度选择背散射电子探测器（AsB）；X射线能谱仪（EDS）；红外CCD相机。通过接收特征X信号，能快速进行样品元素高精度的点、线、面扫描分析。利用氩离子抛光系统(配备有液氮冷台)对样品进行扇形截面（扇形角度为10到90度可调）和平面抛光，可实现对页岩纳米孔隙的观测。
7. 主要技术指标
a.分辨率：0.8 nm@15kV；1.6nm@1kV。
b加速电压范围：20V－30kV，以10V步进连续可调。
c.放大倍数范围：12x－2,000,000x，高倍率与低倍率连续调。
d.探针电流：范围5pA－20nA。
e.可分析元素范围：Be4-Am95。
f.能量分辨率：优于129eV(Mn K)；F元素K峰优于62eV；C元素K峰优于54eV。
场发射扫描电子显微镜
氩离子抛光机
自动镀膜仪联系我们：郝乐伟，博士，助理研究员。主要从事沉积储层以及相关地球化学的研究工作，目前已发表文章20余篇。主要负责仪器的日常维护、运行管理、方法开发及质量管理工作。办公室：211室；Email：haolewei66@163.com
